三峡工程就差点招标霓虹造假的钢铁。

狗屁的工匠精神！

东芝根本没法做出有效的bics，本来整个工艺是交替沉积氧化物sio层和多晶硅psi层实现的，然后在这个层堆叠中形成一个通道孔，填充氧化物—氮化物—氧化物ono和 psix。

接着沉积光刻胶，在连续的蚀刻流程后，光刻胶修整再蚀刻出个阶梯，形成互连。

最后一步，蚀刻出一个槽再填充氧化物。

然而问题不是出在第三步的光刻胶蚀刻，就是出在流片封测上，哪怕侥幸成功，粗粗一算，良品率低得简直令人发指——

才6.3%！阑

“陆总，东芝难道就没有一个说法吗！”

胡煜华愤愤不平道：“这个项目我们已经砸了2.2亿美刀啊！”

“能有什么说法？”

陆飞拳头攥紧，积压着火：“东芝负责这个项目的技术总工割腕住院，会计卧轨死了，西田这个王八蛋把腰一弯，说句‘红豆泥斯密马赛’就想死不认账，吗的，哪有这么便宜的事！这群小霓虹我怀疑是组团忽悠我们，背地里一直在贪污研发经费。”

“这也太无耻了吧？”

胡煜华万万没想到东芝能这么臭不要脸，一时无语道：“那我们不是白折腾了吗？”

“哈哈哈，不白折腾。”阑

陆飞转怒为喜，“东芝敢这么干，不就欺我逻辑无能人嘛？

可巧了，我们还真有人！

朱一明觉得先栅极行不通，能不能试一试后栅极，交替氧化物层和氮化物层，结果他们真捣鼓出一个有别于‘bics’的新工艺，叫‘tcat’，terabit cell array transistor。”

ps：三星就是这个工艺

“陆总，流片封测的结果怎么样？”

“相当可观，良品率提高了1倍之多。”

“天呐！

”阑

胡煜华倒吸一口凉气，这项工艺如果发展顺利，完全够格入选家科技进步奖。

而且，至少是二等奖！

“嘘，保密阶段，没看庆功宴都没有吗。”陆飞做了个噤声的手势，“东芝不会知道我们背着他们偷偷成立了一个新的项目组，而且是独占，现在你觉得这钱花的冤枉？这笔技术交叉许可亏吗？”

“陆总，您这是一石三鸟！”

胡煜华兴奋中带着一丝敬佩，虽然钱被贪了，项目黄了，但东芝帮复芯培养了一批闪存芯片的高精尖人才。

正是这批人，才有了tcat工艺。

而且bics工艺也不是毫无价值，如果三星同意授权，不但能换来oled、amoled面板的技术交叉许可，还能误导三星闪存的研发方向，要知道从吃透资料，到搭建试验，再到修正改进，没有个三五年，根本不可能。阑 本章未完，请点击下一页继续阅读！ 第2页/共4页