生产出来的芯片全部报废,这对于台积电来说,是一笔巨大的损失,如果不能迅速找到原因的话,那生产就无法继续进行下去,耽误了交货时间,那赔偿更是可怕!
所有人都知道了问题的可怕,投入到了紧张的工作中去。
重新开始试流片,分析各个生产环节,第二天的时候,就找到了是光刻部分出的问题,于是,他们叫来了尼康的技术人员,一起研究。
没问题啊,激光输出正常,透镜系统工作正常,所有数据都合格。
“光刻机没有问题!”连续检查了两天,尼康的工程师们终于言之凿凿地保证:“我们的光刻机是一流的,不可能出问题!”
光刻的电路有问题,还不是光刻机的,那是什么?
于是,在第四天,他们终于将目光放到了光刻胶上。
是光刻胶涂抹得不均匀吗?
他们再次调整生产设备,改进工艺,折腾了整整两天,终于,生产线工作正常了!
他们并不知道,这是上一桶光刻胶用完了,这新的一桶光刻胶,没有问题!
看着终于恢复正常的生产线,连续五天没有合眼的蒋尚义,长长地出了口气。
“继续生产!”
耽误了五天的时间,他们还是可以赶回来的,只要接下来的时间里生产线不出任何问题……
蒋尚义拖着疲惫的身体回到家,连澡都没洗,爬上床,就是呼呼大睡,足足睡了十五六个小时,还是迷迷糊糊地睁不开眼睛,但是,电话铃不停地响,他也只能接了过来。
“喂,哪位?什么?生产线又出故障了?”
蒋尚义瞬间就是睡意全无,穿上了衣服,匆匆赶往台积电的生产线。
看着生产线上重现的故障,蒋尚义有一种想要死的感觉,太折磨人了!
不过,有了上次的经验,他们已经知道,这种复现的故障,还是光刻胶的问题,于是,继续实验新的涂片方式,又折腾了三天的时间,终于,生产线重新恢复!
不过……蒋尚义已经没有了上次的轻松,他留在了公司,继续等待,生产正常,正常,正常……等到十五个小时之后,故障重现!
这次,他并没有着急检修故障,而是看着生产工艺的流程,终于发现了规律:每当换新一桶光刻胶的时候,就会出现问题!当有问题的光刻胶用完了之后,再换一桶,就是好的!
生产线的问题,不是因为光刻胶涂抹得不均匀,而是因为这光刻胶的质量不稳定!
没错,就是质量不稳定!
“立刻检查所有的光刻胶!”蒋尚义咬牙切齿。
“蒋总,光刻胶一旦开桶,必须用掉,否则和空气接触氧化,就会变质……”
蒋尚义脸色难看:“哼,如果我猜得没错的话,其中一部分,已经变质了!全部开桶检查!”
于是,所有的光刻胶都被打开,抽取样品,送到化验室,三个小时之后,化验室送过来了检验结果:其中半数的光刻胶都有问题!
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