此时的胡来，已经全身心投入了微电子厂运送过来的28纳米光刻机的安装调试中，等他亲自参与光刻机配套安装项目后才真正体会到光刻机为什么是半导体工业皇冠上的明珠。

沪市微电子厂非常专业，半年前确定了凤凰光刻机订单后，就提前半年通知凤凰集团为光刻机厂房做相应准备。

整个停放光刻机的厂房被特意加固了所有地基，甚至特别的地方还做了悬空处理，这样的目的就是因为光刻机对震动非常敏感，轻微的震动都会引发光源错误，导致一批次的晶圆全部报废。

不仅是地基的稳定性，光刻机生产的厂房所有灯光都有指定要求，不能使用我们平常使用的白光，而是需要使用波长较长的黄色光源。

因为光刻胶对短光非常敏感，所以用长波长的黄色光源的话，对于晶圆制造来说就如同关灯作业，原理就如同冲胶卷曝光一样。

除去这些，光刻机生产厂房还对空气质量有特别高的要求，空气质量需要达到ISO 1级或者2级的水准，这样的空气质量比医用手术室的空气环境要求要干净一万倍……

要达到这样的要求，就必须大量使用先进的全自动化机械操作和高效的风机过滤机组进行24小时无间断的换气和过滤。

除去这些苛刻要求，更让胡来感叹的，还有光刻机高达三万多個零部件和制造光源所需要的强大电力消耗……

不过。

好在沪市微电子厂虽然只是光刻机厂商，但对于光刻机的整套配套还是准备充足。

虽然诸如工厂的风机过滤机组（FFU）和过滤滤芯暂时无法国产，诸如国产光刻胶效果不尽人意等等，但在微电子的私下帮助下，凤凰28纳米光刻机的组装和相关配套还是有条不紊的完成了。

用沪市微电子负责项目的经理话说，第一批配套的设备和材料，微电子厂能想办法暗地里帮忙，但真正等凤凰半导体投入生产后，后续诸如过滤滤芯的更换升级、光刻胶材料的来源就是凤凰自己内部的事情了。

胡来已经非常满意了。

光刻胶再难、风机过滤机组、滤芯再难能难得过光刻机？只要解决了光刻机这个最难的问题，那其他配套都是时间问题！

很快。

由沪市微电子厂提供的28纳米光刻机正式落户凤凰半导体，凤凰半导体也开始了真正拥有生产芯片的能力。

大量引进先进芯片人员的同时，针对28纳米光刻机配套产业链的攻关也悄然在凤凰集团内部开启……

风机过滤机组、滤芯、光刻胶等等项目都被再次加码研发，这次不仅是凤凰和现有国产企业合作，凤凰研究所也开始投入大量资金开始进行专项攻关。

如今的胡来已经比之前有底气多了，现在的凤凰集团是真可以通过砸钱，不计成本的攻关这些难点了。 本章未完，请点击下一页继续阅读！ 第2页/共4页